慧聪LED屏网报道

总部位于香港的Jade Bird Display Ltd(JBD)最近展示了2.5微米像素间距有源矩阵micro LED(AMuLED)显示面板，该公司认为将会打破micro LED行业的纪录。

2.5微米AMuLED显示面板由JBD专有的混合集成技术制造。在混合集成工艺中，首先在MOCVD中在其衬底(例如蓝宝石和GaAs)上生长超薄InGaN(用于蓝色和绿色)和AlInGaP(用于红色)外延层。然后将完整的外延层片与衬底晶片分离，并在低于350℃的温度下粘合到CMOS晶片上。这种晶圆级外延转移消除了对准键合的需要，并显着提高了像素产量，均匀性和制造产量。

在外延层转移之后，执行标准光刻和蚀刻步骤以将薄外延层薄片转换成CMOS背板晶片上的发射器阵列。随后通过光刻，钝化和金属化循环制作电接触。

在将晶片切割成芯片之前，最终在单片晶片级刻度上在发射器上制造诸如微透镜和反射器阵列的光学元件。为了实现所需的光准直，发射器台面直径被设计为像素间距的大约三分之一。因此，对于2.5μm像素间距，发射器台面直径小于1微米。

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