近日,英国斯特拉思克莱德大学(University of Strathclyde)的研究者宣布开发了一项Micro LED新型转移工艺:连续滚轮转印技术,可在一次转印中精准地转移超75000颗Micro LED,并针对转移的数量和良率开发了自动计量系统。
a) 滚轮转印设备示意图;b) 转印制程(左到右),器件从供体释放到转移头,再被放置到接收芯片上
研究人员表示,这项工艺可以实现Micro LED的巨量集成,可在一次转印中转移一个320x240像素阵列,相当于75000颗以上的Micro LED,相对位置精度达亚微米级,而且能够保持像素阵列的几何结构,像素空间定位误差与设计布局的偏差控制1μm以内。
另外,研究者还采用了基于简单光学显微镜的自动亚微米级精准计量系统,用于评估如此大规模数量的器件,同时还可以评估良率。
除了Micro LED巨量转移,该工艺还可用于其他类型的设备,包括硅和印刷电子设备,如柔性和可穿戴电子设备、智能包装和射频识别标签;同时,该工艺在光伏设备制造、药物输送系统、生物传感器和组织工程等生物医学应用中也具有应用潜力。
目前,这篇论文已发表在《光学材料快报》上,论文链接是:https://opg.optica.org/ome/fulltext.cfm?uri=ome-13-8-2236&id=532711。
免责声明:凡注明来源本网的所有作品,均为本网合法拥有版权或有权使用的作品,欢迎转载,注明出处。非本网作品均来自互联网,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。