科创板日报4月15日讯，中微半导体设备（上海）股份有限公司副总经理朱新萍表示：“大尺寸背光源的渗透率非常关键，LED厂商今年大规模扩产或将带动公司今明两年MOCVD设备订单大幅增长。”据悉，中微公司2021年新签订单41.29亿元，同比增长90%。其中，刻蚀设备新签订单同比增长82.5%，MOCVD设备新签订单同比增长233.5%。

公司资料显示，中微公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务。公司总部位于上海，聚焦亚洲，计划为全球的客户提供技术和设备的解决方案。中微公司基于在半导体装备产业多年耕耘积累的专业技术，涉足半导体芯片前端制造、先进封装、LED生产、MEMS制造以及其他微观制程的高端设备领域，瞄准世界科技前沿，坚持自主创新。其开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件；开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产。2018年，公司在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。

在公司员工的创新激情、多年的齐心奋斗和合作共赢的精神指引下，中微公司已经成为一家快速成长的微观加工设备公司，在技术创新、产品优化和市场准入方面取得了重大突破，赢得了众多客户和供应厂商的信任和支持，成为国际半导体微观加工设备产业极具竞争力的一颗新星。

根据智慧芽数据显示，中微公司及其关联公司目前共有1800余件专利申请，其中发明专利超过1600件，公司专利布局主要聚焦于等离子体、处理装置、反应腔等相关领域。