近日，中微公司全资子公司南昌中微接到来自兆驰半导体52腔Prismo Unimax®MOCVD设备采购订单，签约仪式日前已于江西南昌高新区顺利举行。

图片来源：南昌日报

资料显示，兆驰半导体是兆驰股份的全资子公司，位于江西省南昌市高新开发区，是一家专业从事LED外延片和芯片的研发、生产的高科技企业，总投资100亿元，占地约500亩，一期建筑面积约27万多平方米。

据悉，今年3月17日，兆驰股份曾发布公告宣布计划投资50亿元，在南昌高新区投资建设MiniLED芯片及RGB小间距LED显示模组项目。其中，设备投资约25亿元。

该项目计划采购52腔MOCVD设备及相应产能芯片及配套设备用于生产氮化镓MiniLED芯片，同时新增300-500条采用COB技术的小间距LED显示模组产线。项目预计于2023年完成设备安装调试并正式投入运营。

据介绍，Prismo UniMax®是中微公司于2021年6月发布的用于高性能MiniLED量产的MOCVD设备，该设备在同一系统中可配备多达4个反应腔，并配置了多区温度补偿加热系统，具备优异的波长均匀性、重复性和稳定性。

中微公司MOCVD设备优化设计的喷淋头实现了更好的均匀性和产出稳定性、超大直径石墨托盘可大幅提升客户产能并降低成本；通过石墨盘晶片排布的最优化，Prismo UniMax®的加工容量可以延伸至生长164片4英寸或72片6英寸晶片。

中微公司表示，公司Prismo UniMax®MOCVD设备订单已超180腔，是继去年12月Prismo UniMax®MOCVD设备订单超100腔以来公司取得的又一次重要突破，为公司未来更多的MOCVD产品开拓市场奠定了坚实的基础。

目前，中微公司开发的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用；开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产。