慧聪LED屏网3月20日报道2013年3月19日，中晟光电设备(上海)有限公司正式对外发布其自主研发的大型MOCVD设备—ProMaxy。

“ProMaxyTM是具有自动化装卸、连续外延生产性能的多腔系统，单腔的产能为66片/2英寸，17片/4英寸，或8片/6英寸。如果如系统配置4个反应腔，产能则高达264片/2英寸，68片/4英寸，或32片/6英寸。”中晟光电董事长兼执行长陈爱华博士向记者展示了这款号称目前市场上最高系统产能和最低外延营运成本(COO)的MOCVD。

据记者了解，目前中晟光电已有一台多腔的ProMaxy机台在江苏汉莱科技测试。此外，还有5家客户已经完成了现场验机与评估。

“今年预计能够销售8个反应腔的设备。”面对眼下LED外延芯片过剩的现实，陈爱华似乎并不担心ProMaxy的销量。“产能过剩是相对的，做得好的企业还在扩充产能。ProMaxy主要针对仍在扩充产能的企业，而且今年首要任务是获得市场验证和认可，为2014年销售和营运盈利显着增长奠定基础。”

然而，中晟光电将要面临的市场竞争态势和行业困境却是事实。

在此之前，国内已经有四家厂商推出国产MOCVD，他们是天龙光电、上海理想能源、光达光电和中微半导体。

众所周知，MOCVD设备是整个LED照明产业链中最关键的制造装备。一台进口MOCVD设备的售价目前约为1500万元，其成本占整个芯片设备成本的50%左右。由于技术含量高、制造工艺复杂，目前全球的MOCVD设备市场主要被两家国外设备供应商AIXTRON和VEECO所垄断。

由于近两年，国内LED外延芯片产能步入过剩通道，直接导致MOCVD市场需求量急剧萎缩。

高工LED产业研究所(GLII)报告称，2010年和2011年，中国共引进了MOCVD设备680台，截至2012年11月底，国内量产MOCVD设备数量为909台，其中2012年新增MOCVD数量为106台，仅为2011年新增数量的1/5。同时，市场实际需求与预期相差甚远，大多数机台未能按时投产。目前，国内MOCVD设备平均投产率不到六成，产能利用率仅为五成左右。

“我们也应该清晰地认识到，这还仅仅是一个阶段性成果，在实现MOCVD设备国产化战略目标的征途上，我们还将面临各种挑战，在不断提高性能以满足生产需要的同时，国产设备还需得到市场的检验与认可。”北方微电子公司总裁赵晋荣坦言。

有业内人士表示，国产国内MOCVD设备厂商急于推出自己的设备或许并不是为了真正抢占市场份额，而是为了完成相关国家科技项目的任务。根据最新发布的《半导体照明产业节能规划》，政府将继续着力推进核心装备的引进消化吸收和再创新，力争实现生产型MOCVD设备量产。

“现在VEECO、AIXTRON两家设备厂商都吃不饱，新进来的设备厂肯定也吃不饱。”上述业内人士强调，对于一家高端设备企业而言，设备只是一个产品，更重要的是如何将它推向市场，以及客户能否稳定使用。

对于能否成功逆袭MOCVD市场，中微资深副总裁兼MOCVD产品事业群总经理杜志游博士似乎信心十足：“目前MOCVD的市场竞争不是很激烈，这对于新的MOCVD设备制造商来说是一个良好的发展时机，我们(国产设备厂商)应该把握这样的机会。”

记者了解到，中微半导体将于近期正式发布多反应器MOCVD，首次进入LED照明设备市场。