科创潮起时，南海勇奋楫。近年来，市、区累计投入100亿元引入高端科创平台超30个，以科技创新引领产业转型升级，并打造南海区科技创新成果转化平台，实现区内创新平台科技资源整合和企业技术需求发布。目前季华实验室、佛山仙湖实验室等30个创新平台进驻成果转化平台，提供科技服务超500项。

“顶天立地”的科研力量到底可以为企业提供什么科研成果？本期南海科创汇将带您一起走进藏有行业唯一具有完整陶瓷大功率带透镜的紫外LED封装产线的创新平台。

一块晶圆被送进了切割台，在激光的快速描摹下划出整洁的切割线……近日，小编走进位于南海狮山的广东中科半导体微纳制造技术研究院的半导体光电子器件封装实验室，亲手把一块晶圆送进了全自动切割设备进行切割，近距离观察芯片是如何被切出来的。[b]据介绍，这台自动化切割设备可以在8寸大小的晶圆上切割出30多万颗芯片。

打造华南最大的半导体行业公共服务平台

日前，南海发布《佛山市南海区半导体及集成电路产业发展行动方案》，宣布未来5年投入200亿元，10年投入500亿元，重点发展产品导向特色工艺晶圆制造、先进封装和载板产业，带动集成电路设计产业、装备材料和核心部件等发展，并围绕“一园两区”空间产业布局，打造半导体产业生态。其中，“两区”之一是狮山的南海纳米电子产业先行区，广东中科半导体微纳制造技术研究院（下称“研究院”）是重要组成部分。

研究院是由南海区人民政府、佛山中科产业技术研究院共同举办，委托中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所运营管理的广东省省属科研事业单位。研究院占地100亩，一期投入运营资金12亿元，建设35000平方米科研及办公场地，建有洁净实验室23000平米，是目前华南最大的半导体行业公共服务平台。二期规划建设12万平米专业化半导体产业载体。

据介绍，研究院通过“纳米加工平台+研究中心+育成中心”的运营模式，探索融合共进的新型发展机制，建设服务于半导体产业的高水平技术研发平台及公共服务平台。其中，研究中心布局“先进显示与探测技术”、“能源电子与5G通信”等研究方向，开展大尺寸硅基氮化镓关键材料外延、智能MEMS传感、功率器件、高精度柔性印刷电子器件等多种半导体材料与器件工程化研究。纳米加工平台针对光电子器件、功率器件、MEMS器件、Micro-LED等多种半导体分立器件，开展GaN外延材料生长、芯片加工、器件测试、器件封装等全流程研发、中试流片及封装测试服务，具备8英寸硅晶圆及8英寸硅基氮化镓（GaN）晶圆加工能力，并兼容2英寸、4英寸、6英寸加工尺寸晶圆。

研究中心下设半导体光电子材料外延生长中心、半导体光电子器件工艺中心、半导体光电子器件封装实验室。

聚焦第三代半导体器件的封装